和立气体取得磷烷气体提纯用化学吸附反应器专利,可对磷烷气体有效提纯

金融界2025年4月4日消息,国家知识产权局信息显示,和立气体(上海)有限公司取得一项名为“一种磷烷气体提纯用化学吸附反应器”的专利,授权公告号CN 222709355 U,申请日期为2024年4月。专利摘要显示,本实用新型化学吸附设备属于技术领域,具体公开了一种磷烷气体提纯用化学吸附反应器,包括吸